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发明名称
RESIST APPLICATOR
摘要
申请公布号
JPH10156261(A)
申请公布日期
1998.06.16
申请号
JP19960317239
申请日期
1996.11.28
申请人
SONY CORP
发明人
KISHIKAWA YUTAKA
分类号
G03F7/16;B05C11/08;B05D1/40;H01L21/027;(IPC1-7):B05C11/08
主分类号
G03F7/16
代理机构
代理人
主权项
地址
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