发明名称 POLYIMIDE PRECURSOR, ITS PRODUCTION, POLYIMIDE, ITS PRODUCTION AND PHOTOSENSITIVE RESIN COMPOSITION
摘要
申请公布号 JPH10158397(A) 申请公布日期 1998.06.16
申请号 JP19960316629 申请日期 1996.11.27
申请人 HITACHI CHEM CO LTD 发明人 KAWAKAMI HIROYUKI;TAKAHASHI YOSHIHIRO;NISHIZAWA HIROSHI
分类号 G03F7/038;C08G73/10;C08G73/14;(IPC1-7):C08G73/10 主分类号 G03F7/038
代理机构 代理人
主权项
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