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发明名称 PROCESS & DEVICE COMPOSITE SIMULATION SYSTEM AND SIMULATION METHOD
摘要
申请公布号 KR0136020(B1) 申请公布日期 1998.06.15
申请号 KR19940014408 申请日期 1994.06.23
申请人 NIPPON ELECTRIC CO.,LTD 发明人 TAMEKAYA, YUKIO
分类号 H01L29/00;G06F17/50;H01L21/00;(IPC1-7):G06F17/60 主分类号 H01L29/00
代理机构 代理人
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