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发明名称 EINRICHTUNG ZUM HANDELN VON SCHEIBENFÖRMIGEN OBJEKTEN IN EINER HANDLINGEBENE EINES LOKALEN REINRAUMES
摘要
申请公布号 AT167001(T) 申请公布日期 1998.06.15
申请号 AT19940911956T 申请日期 1994.03.25
申请人 JENOPTIK AKTIENGESELLSCHAFT 发明人 LAHNE, BERNDT;SCHULTZ, KLAUS;SCHELER, WERNER;HEITMANN, MICHAEL;GAGLIN, AXEL
分类号 B65G49/07;H01L21/00;H01L21/02;H01L21/677;(IPC1-7):H01L21/00 主分类号 B65G49/07
代理机构 代理人
主权项
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