| 发明名称 |
METHOD FOR PRODUCTION OF AL-OXIDE AND METHOD FOR SEMICONDUCTOR THEREBY |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
KR0134723(B1) |
申请公布日期 |
1998.06.15 |
| 申请号 |
KR19940028657 |
申请日期 |
1994.11.02 |
| 申请人 |
HYUNDAI ELECTRONICS IND CO.,LTD |
发明人 |
KIM, YONG-HWA |
| 分类号 |
C23C16/06;(IPC1-7):C23C16/06 |
主分类号 |
C23C16/06 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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