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发明名称 METHOD FOR FABRICATING A SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 KR0138009(B1) 申请公布日期 1998.06.15
申请号 KR19940003789 申请日期 1994.02.28
申请人 FUJITSU CO.,LTD;KYUSYU FUJITSU ELECTRONICS CO.,LTD 发明人 DAMOTSU, SUZKI;GOICHI, KAWAHARA
分类号 H01L21/26;H01L21/02;H01L21/027;H01L21/30;H01L21/311;H01L21/3213;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/30 主分类号 H01L21/26
代理机构 代理人
主权项
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