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发明名称 SILICON REACTOR FURNACE
摘要
申请公布号 GB1270441(A) 申请公布日期 1972.04.12
申请号 GB19690024781 申请日期 1969.05.15
申请人 TEXAS INSTRUMENTS INCORPORATED 发明人 JAMES RENEAU HARRISON;JAMES WAYNE GILPIN
分类号 C01B33/035;C23C16/54 主分类号 C01B33/035
代理机构 代理人
主权项
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