| 摘要 |
<p>Die Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren zum interferometrischen Messen von Positionen und Positionsänderungen sowie daraus abgeleiteter physikalischer Größen eines zu untersuchenden Teils mittels Heterodyn-Interferometrie, wobei zur Erzeugung der Heterodyn-Frequenz ein Laser zur Änderung der Frequenz der von ihm abgegebenen Strahlung mittels eines sich zeitlich ändernden Injektionsstroms moduliert wird und die abgegebene Strahlung einerseits über einen optischen Umweg und andererseits ohne den optischen Umweg zu dem zu untersuchenden Teil und von dort zu einem Meßempfänger geführt wird. Bei kleineren Dimensionen wird eine bessere Auswertung der Meßergebnisse dadurch erzielt, daß die Signalform des Injektionsstroms eine relativ zu seiner Pulslänge steile Anstiegsflanke sowie ein daran anschließendes Plateau aufweist.</p> |
