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发明名称 Verfahren zum Ätzen von Strukturen in einer Siliziumschicht
摘要
申请公布号 DE19624315(C2) 申请公布日期 1998.06.10
申请号 DE19961024315 申请日期 1996.06.18
申请人 FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FOERDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V., 80636 MUENCHEN, DE 发明人 KLUMPP, ARMIN, DIPL.-PHYS., 80337 MUENCHEN, DE;BOLLMANN, DIETER, DIPL.-PHYS., 81475 MUENCHEN, DE;RAMM, PETER, DIPL.-PHYS., 85276 PFAFFENHOFEN, DE
分类号 H01L21/306;(IPC1-7):C23F1/24;C23F1/02;H01L21/027;H01L21/461 主分类号 H01L21/306
代理机构 代理人
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