| 发明名称 |
Method for measuring critical dimension of pattern on sample |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
EP0781976(A3) |
申请公布日期 |
1998.06.10 |
| 申请号 |
EP19960120644 |
申请日期 |
1996.12.20 |
| 申请人 |
HITACHI, LTD. |
发明人 |
MIZUNO, FUMIO;SATOH, OSAMU |
| 分类号 |
G01B11/00;G01B15/00;G01N23/04;G01Q30/02;G01Q30/04;G01Q60/24;H01J37/28;H01L21/027;H01L21/66;(IPC1-7):G01B15/00 |
主分类号 |
G01B11/00 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
