Verfahren und Vorrichtung zum Herstellen harter Kohlenstoffschichten,申请号DE19843442208-传众专利搜索

发明名称	Verfahren und Vorrichtung zum Herstellen harter Kohlenstoffschichten
摘要
申请公布号	DE3442208(C3)	申请公布日期	1998.06.10
申请号	DE19843442208	申请日期	1984.11.19
申请人	BALZERS UND LEYBOLD DEUTSCHLAND HOLDING AG, 63450 HANAU, DE	发明人	HOFMANN, DIETER, DIPL.-ING., 63486 BRUCHKOEBEL, DE;SCHUESLER, HANS, ING.(GRAD.), 63820 ELSENFELD, DE;MUENZ, WOLF-DIETER, DR., 63579 FREIGERICHT, DE
分类号	C23C16/02;C23C16/26;C23C16/517;G04B37/22;H01J37/32;(IPC1-7):C23C16/26;C23C14/35	主分类号	C23C16/02
代理机构		代理人
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