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发明名称 Herstellungsverfahren für Halbleiterbauelement mit Kondensator
摘要
申请公布号 DE69315125(T2) 申请公布日期 1998.06.10
申请号 DE19936015125T 申请日期 1993.06.18
申请人 MATSUSHITA ELECTRONICS CORP., TAKATSUKI, OSAKA, JP 发明人 FUJII, EIJI, OSAKA 567, JP;SHIMADA, YASUHIRO, MISHIMA-GUN OSAKA 618, JP;UEMOTO, YASUHIRO, OSAKA 569, JP;NASU, TOORU, KYOTO-SHI, KYOTO 604, JP;MATSUDA, AKIHIRO, OSAKA 565, JP;OOTSUKI, TATSUO, OSAKA 569,, JP
分类号 H01L21/02;H01L21/8242;H01L27/108;H01L27/12;H01L29/786;H01L29/92;H01L29/94;(IPC1-7):H01L29/92 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
主权项
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