光学头物镜倾斜度测量装置

摘要

一种光学头物镜倾斜度测量装置,包括:光源;位于光源和物镜之间、对光源发出的光准直的准直仪;将来自准直仪的光会聚到物镜表面的聚光镜;接收由物镜反射后通过聚光镜的光的光接收元件;位于准直仪和聚光镜之间的光路上,将入射光一部分导向聚光镜而将其余部分光导向光接收元件的光路转换装置。通过检测光源发出的直接照射到光接收元件上的光的位置与经物镜反射后照射到光接收元件上的光的位置之间的差来测量物镜的倾斜度。

主权项

1、一种光学头物镜倾斜度测量装置，包括：一光源；一准直仪，其位于所述光源和所述物镜之间，以对所述光源发出的光进行准直；一聚光镜，用于将通过所述准直仪的光会聚到所述物镜上；一光接收元件，用于接收由所述物镜反射后通过所述聚光镜的光；和一光路转换装置，其位于所述准直仪和所述聚光镜之间的光路上，以将从所述光源入射到该光路转换装置的一部分光导向所述聚光镜，而将其余光导向所述光接收元件，其中，通过检测所述光源发出的直接照射到所述光接收元件上的光的位置和经所述物镜反射后照射到所述光接收元件上的位置之间的差来测量所述物镜的倾斜度。