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发明名称
摘要
申请公布号 NL7116689(A) 申请公布日期 1972.06.13
申请号 NL19710016689 申请日期 1971.12.04
申请人 PHILIPS NV 发明人 BEALE J R A
分类号 H01L21/00;H01L21/331;H01L29/00;(IPC1-7):H01L7/34;H01L7/54;H01L7/64 主分类号 H01L21/00
代理机构 代理人
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