发明名称 METHOD FOR APPLYING RESIST ON METAL THIN PLATE, AND RESIST
摘要
申请公布号 JPH10153865(A) 申请公布日期 1998.06.09
申请号 JP19960327546 申请日期 1996.11.21
申请人 DAINIPPON SCREEN MFG CO LTD 发明人 ONO JIRO
分类号 G03F7/004;C23F1/00;G03F7/04;G03F7/16;H01J9/14;H01L23/50;H05K3/00;H05K3/06;(IPC1-7):G03F7/16 主分类号 G03F7/004
代理机构 代理人
主权项
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