发明名称 |
METHOD FOR APPLYING RESIST ON METAL THIN PLATE, AND RESIST |
摘要 |
|
申请公布号 |
JPH10153865(A) |
申请公布日期 |
1998.06.09 |
申请号 |
JP19960327546 |
申请日期 |
1996.11.21 |
申请人 |
DAINIPPON SCREEN MFG CO LTD |
发明人 |
ONO JIRO |
分类号 |
G03F7/004;C23F1/00;G03F7/04;G03F7/16;H01J9/14;H01L23/50;H05K3/00;H05K3/06;(IPC1-7):G03F7/16 |
主分类号 |
G03F7/004 |
代理机构 |
|
代理人 |
|
主权项 |
|
地址 |
|