发明名称 METHOD FOR DETECTING MINUTE FOREIGN MATTER
摘要
申请公布号 JPH10153603(A) 申请公布日期 1998.06.09
申请号 JP19970343374 申请日期 1997.12.12
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 NAKAGAWA ZENSHI;SOEDA FUSAYOSHI;FUJINO NAOHIKO;KANO ISAMU;WADA OSAMU;KUROKAWA HIROSHI;HORI KOICHIRO;HATTORI NOBUMI;SEKINE MASAHIRO;OMORI MASASHI;KURAMOTO KAZUO;KOBAYASHI JUNJI
分类号 G01B11/30;G01B21/30;G01N21/88;G01N21/94;G01N21/956;G01N37/00;G01Q30/02;(IPC1-7):G01N37/00 主分类号 G01B11/30
代理机构 代理人
主权项
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