发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH10154691(A) 申请公布日期 1998.06.09
申请号 JP19960310715 申请日期 1996.11.21
申请人 NISSAN MOTOR CO LTD 发明人 MANABE KOJI;SATO NORITOSHI;KIRITANI NORIHIKO;NOGUCHI TAKATOSHI
分类号 H01L21/3063;(IPC1-7):H01L21/306 主分类号 H01L21/3063
代理机构 代理人
主权项
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