| 发明名称 |
CLEANING DEVICE AND CLEANING METHOD |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH10154689(A) |
申请公布日期 |
1998.06.09 |
| 申请号 |
JP19970259026 |
申请日期 |
1997.09.24 |
| 申请人 |
TOKYO ELECTRON LTD |
发明人 |
NAKAJIMA SATOSHI;KAMIKAWA YUJI;UENO KINYA |
| 分类号 |
H01L21/304;B08B3/04;(IPC1-7):H01L21/304 |
主分类号 |
H01L21/304 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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