| 发明名称 |
THIN FILM FORMING DEVICE AND FABRICATION OF CHALCOPYRITE THIN FILM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH10154661(A) |
申请公布日期 |
1998.06.09 |
| 申请号 |
JP19960314777 |
申请日期 |
1996.11.26 |
| 申请人 |
YAZAKI CORP |
发明人 |
SATO KENJI;IKETANI TAKESHI;TOYODA KAZUHIRO;KAMIYA TAKESHI;NAKAMURA MASAMI;SUZUKI KAZUE;NAKAGAWA SHINICHI;MOCHIZUKI NORIO |
| 分类号 |
C30B29/46;H01L21/203;H01L21/363;(IPC1-7):H01L21/203 |
主分类号 |
C30B29/46 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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