SUBSTRATE PROCESSING SYSTEM,申请号JP19960327710-传众专利搜索

发明名称	SUBSTRATE PROCESSING SYSTEM
摘要
申请公布号	JPH10154644(A)	申请公布日期	1998.06.09
申请号	JP19960327710	申请日期	1996.11.22
申请人	DAINIPPON SCREEN MFG CO LTD	发明人	HAYASHI TOYOHIDE;OTANI MASAMI
分类号	H01L21/02;(IPC1-7):H01L21/02	主分类号	H01L21/02
代理机构		代理人
主权项
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