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发明名称
摘要
申请公布号 JP2760818(B2) 申请公布日期 1998.06.04
申请号 JP19880290338 申请日期 1988.11.18
申请人 PAAKIN ERUMAA CORP ZA 发明人 TOOMASU DABURYU BAANAADO
分类号 G01J3/02;G01J3/18;G01J3/28;G01J3/36;H01L21/66;H01L27/146;H01L27/148;(IPC1-7):G01J3/36 主分类号 G01J3/02
代理机构 代理人
主权项
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