申请人 |
ALD VACUUM TECHNOLOGIES GMBH, 63526 ERLENSEE, DE |
发明人 |
HUGO, FRANZ, 63743 ASCHAFFENBURG, DE;KEMMER, HANS-JOHANN, DIPL.-ING., 63322 ROEDERMARK, DE;SITZMANN, BERND, DIPL.-ING., 63477 MAINTAL, DE;PROTZMANN, MICHAEL, DIPL.-ING., 63607 WAECHTERSBACH, DE |