| 摘要 |
<p>Verfahren zur Herstellung eines Absolutdrucksensors als mikromechanisches Bauelement auf einem Siliziumsubstrat, bei dem ein Hohlraum (4) in einer Hilfsschicht (3) unter einer Membranschicht (5) durch Ätzöffnungen (6) ausgeätzt wird, die Ätzöffnungen mit einer Passivierungsschicht (7) verschlossen werden, bei einer Kontaktlochätzung eine spezielle Ätzöffnung (11) wieder geöffnet wird und diese Öffnung bei einem nachfolgenden Prozeßschritt, der bei niedrigem Druck erfolgt, mit einer Metallisierung oder dielektrischem Material (10, 12) wieder verschlossen wird.</p> |
