| 摘要 |
<p>Bei einem Verfahren zum Erzeugen einer Titanmonophosphidschicht wird zunächst ein Träger in einen Reaktor eingebracht. Nachfolgend wird eine TiN-Schicht durch Zuführung von TiCl4 und NH3 in den Reaktor auf dem Träger abgeschieden. Die TiN-Schicht wird unter Zuführung von PH3 in den Reaktor unmittelbar nach dem Abscheiden der TiN-Schicht getempert, um die Titanmonophosphidschicht auf der TiN-Schicht zu bilden.</p> |
