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申请公布号 JP2762200(B2) 申请公布日期 1998.06.04
申请号 JP19920318445 申请日期 1992.11.27
申请人 SHINETSU HANDOTAI KK 发明人 HASEGAWA FUMIHIKO;OOTANI TATSUO;KURODA YASUYOSHI
分类号 B23B5/00;B24B9/00;H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/304 主分类号 B23B5/00
代理机构 代理人
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