| 发明名称 |
Mikromechanische und elektromagnetisch betriebene Spiegelanordnungen |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
DE29801643(U1) |
申请公布日期 |
1998.06.04 |
| 申请号 |
DE19982001643U |
申请日期 |
1998.01.31 |
| 申请人 |
CMS MIKROSYSTEME GMBH CHEMNITZ, 09125 CHEMNITZ, DE |
发明人 |
|
| 分类号 |
G02B26/08;H01F5/02;(IPC1-7):G02B26/08;H01F7/08 |
主分类号 |
G02B26/08 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
