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发明名称
摘要
申请公布号 JP2760679(B2) 申请公布日期 1998.06.04
申请号 JP19910212503 申请日期 1991.08.26
申请人 MATSUSHITA DENSHI KOGYO KK 发明人 IMAI TADAO
分类号 G01R19/00;G01R31/28;G06F3/02;H01L21/822;H01L27/04;H01L27/06;H03K17/16;(IPC1-7):H01L27/04 主分类号 G01R19/00
代理机构 代理人
主权项
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