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<p>Es wird ein Verfahren zur Erzeugung von PVD- und/oder PECVD-Hartstoffschichten für Werkzeuge, Bauteile und Werkstücke mittels Nitridbildender Metalle beschrieben, bei dem während des Beschichtungsvorgangs in den Stickstoff als Reaktivgas enthaltenden Beschichtungsbehälter Sauerstoff und/oder Schwefel und/oder Selen und/oder Tellur oder ein Gemisch davon eingebracht wird.</p> |
