发明名称 Integrierter Beschleunigungsmesser mit zum Substrat paralleler Messachse
摘要
申请公布号 DE69315544(T2) 申请公布日期 1998.06.04
申请号 DE1993615544T 申请日期 1993.12.23
申请人 COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE, PARIS, FR 发明人 DIEM, BERNARD, F-38130 ECHIROLLES, FR;MICHEL, FRANCE, F-38360 SASSENAGE, FR
分类号 B81B3/00;G01P15/125;(IPC1-7):G01P15/125 主分类号 B81B3/00
代理机构 代理人
主权项
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