Verfahren zum Spalten einer spröden Platte sowie Vorrichtung zum Durchführen des Verfahrens,申请号DE1991628370T-传众专利搜索

发明名称	Verfahren zum Spalten einer spröden Platte sowie Vorrichtung zum Durchführen des Verfahrens
摘要
申请公布号	DE69128370(T2)	申请公布日期	1998.06.04
申请号	DE1991628370T	申请日期	1991.03.18
申请人	PHILIPS ELECTRONICS N.V., EINDHOVEN, NL	发明人	ZONNEVELD, MAARTEN HARM, NL-5656 AA EINDHOVEN, NL;DEKKER, JACOBUS NICOLAAS, NL-5656 AA EINDHOVEN, NL;VERKADE, GERRIT CORNELIS, NL-5656 AA EINDHOVEN, NL;FIERKENS, IRENEUS HENRICUS THEODORUS, NL-5656 AA EINDHOVEN, NL;VAN GENNIP, THEODORUS JOHANNES MARIA JACOBUS, NL-5656 AA EINDHOVEN, NL
分类号	B23K26/00;B23K26/06;B23K26/40;B28D1/22;C03B33/09;G02F1/1333;(IPC1-7):C03B33/09;H01L21/304;B26F3/06	主分类号	B23K26/00
代理机构		代理人
主权项
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