Aryltriflat-Verbindungen, ein unter Einfluss von Strahlung säureproduzierendes Mittel, ein unter Einfluss von Strahlung säureproduzierendes System und eine strahlungsempfindliche Zusammensetzung,申请号DE19926025288-传众专利搜索

发明名称	Aryltriflat-Verbindungen, ein unter Einfluss von Strahlung säureproduzierendes Mittel, ein unter Einfluss von Strahlung säureproduzierendes System und eine strahlungsempfindliche Zusammensetzung
摘要
申请公布号	DE69225288(D1)	申请公布日期	1998.06.04
申请号	DE19926025288	申请日期	1992.06.30
申请人	HITACHI CHEMICAL CO., LTD., TOKIO/TOKYO, JP	发明人	KAJI, MAKOTO, HITACHI-SHI, JP;PAPPAS, PETER S., WEST ORANGE, NJ 07052, US
分类号	G03F7/00;C07C309/65;C08F2/50;G03F7/004;G03F7/029;G03F7/039;G03H1/02;H01L21/027;H05K3/00;(IPC1-7):C07C309/65;C07D209/48	主分类号	G03F7/00
代理机构		代理人
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