| 摘要 |
<p>Die Erfindung betrifft einen Mikrosensor zur Flüssigkeitsanalyse, insbesondere von Alkohol-Benzin-Gemischen, der dreidimensionale interdigitalen erste und zweite Mikroelektroden (4, 6) aufweist, die auf einem Substrat (IDS-Chip A) angeordnet sind. Die Interdigitalstrukturen (4, 6) des Mikrosensors sind derart unterätzt, daß sie von der Meßflüssigkeit (F) umspült werden, wobei die ersten und zweiten Mikroelektroden (4, 6) in bezug aufeinander einen Kondensator bilden. Die Elektroden (4, 6) liegen bevorzugt lediglich auf ihren Randbereichen auf. Mit dem Sensor wird die Kapazität eines dielektrischen Flüssigkeits-/Flüssigkeitsgemisches bestimmt. Ferner kann die Leitfähigkeit bestimmt und zur Korrektur von Verunreinigungen verwendet werden. Mittels eines Temperatursensors werden Temperaturabhängigkeiten eliminiert.</p> |
