Process for the production of an indium-tin oxide target,申请号EP19940118341-传众专利搜索

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发明名称	Process for the production of an indium-tin oxide target
摘要
申请公布号	EP0678591(B1)	申请公布日期	1998.06.03
申请号	EP19940118341	申请日期	1994.11.22
申请人	LEYBOLD MATERIALS GMBH	发明人	SCHLOTT, MARTIN, DR.;DAUTH, WOLFGANG,;KUTZNER, MARTIN;GEHMAN, BRUCE, DR.
分类号	C04B35/00;C04B35/628;C04B35/457;C23C14/08;C23C14/34;H01L21/203;(IPC1-7):C23C14/34	主分类号	C04B35/00
代理机构		代理人
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