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发明名称 Procedure for fabricating a pressure transducer using the silicon on isolation technique and transducer thus obtained
摘要
申请公布号 EP0605302(B1) 申请公布日期 1998.06.03
申请号 EP19930403156 申请日期 1993.12.23
申请人 COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE 发明人 DIEM, BERNARD;DELAYE, MARIE-THERESE
分类号 G01L9/04;B81B3/00;G01L9/00;G01L9/12;H01L29/84;(IPC1-7):G01L9/12 主分类号 G01L9/04
代理机构 代理人
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