| 发明名称 |
METHOD AND APPARATUS FOR LEAK CHECK |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH10148594(A) |
申请公布日期 |
1998.06.02 |
| 申请号 |
JP19960306085 |
申请日期 |
1996.11.18 |
| 申请人 |
MIYAZAKI OKI ELECTRIC CO LTD;OKI ELECTRIC IND CO LTD |
发明人 |
OKATOME SHUICHI |
| 分类号 |
G01M3/28;B01J3/00;F16K31/126;H01L21/203;H01L21/205;(IPC1-7):G01M3/28 |
主分类号 |
G01M3/28 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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