| 发明名称 |
PHOTOSENSITIVE FILM FOR PRECISE METAL WORKING, AND METHOD FOR MANUFACTURING PATTERN BY USING THE FILM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH10148938(A) |
申请公布日期 |
1998.06.02 |
| 申请号 |
JP19960307822 |
申请日期 |
1996.11.19 |
| 申请人 |
HITACHI CHEM CO LTD |
发明人 |
KIMURA JINKO;KAWAGUCHI TAKU;ISHIKAWA TSUTOMU |
| 分类号 |
G03F7/027;C08G18/67;C08G18/79;C08G18/80;G03F7/028;G03F7/035;H01L23/50;H05K3/06;(IPC1-7):G03F7/035 |
主分类号 |
G03F7/027 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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