发明名称 THIN FILM FORMING APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH10147880(A) 申请公布日期 1998.06.02
申请号 JP19960321144 申请日期 1996.11.15
申请人 ANELVA CORP 发明人 MIZUNO SHIGERU
分类号 C23C16/44;C23C16/02;C23C16/455;C23C16/50;H01L21/205;H01L21/285;(IPC1-7):C23C16/50 主分类号 C23C16/44
代理机构 代理人
主权项
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