发明名称 CONTACT PROBE AND PROBE DEVICE WITH THE SAME
摘要
申请公布号 JPH10148645(A) 申请公布日期 1998.06.02
申请号 JP19960306829 申请日期 1996.11.18
申请人 MITSUBISHI MATERIALS CORP 发明人 KATO NAOKI;SASAKI ISATO;TAI AKIRA;MISHIMA TERUSHI;HIJI TOSHIHARU;MASUDA AKIHIRO
分类号 G01R1/073;H01L21/66;(IPC1-7):G01R1/073 主分类号 G01R1/073
代理机构 代理人
主权项
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