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摘要
申请公布号
JPH10148645(A)
申请公布日期
1998.06.02
申请号
JP19960306829
申请日期
1996.11.18
申请人
MITSUBISHI MATERIALS CORP
发明人
KATO NAOKI;SASAKI ISATO;TAI AKIRA;MISHIMA TERUSHI;HIJI TOSHIHARU;MASUDA AKIHIRO
分类号
G01R1/073;H01L21/66;(IPC1-7):G01R1/073
主分类号
G01R1/073
代理机构
代理人
主权项
地址
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