发明名称 PRESSURE SENSOR AND CAPACITANCE-TYPE PRESSURE SENSOR CHIP
摘要
申请公布号 JPH10148593(A) 申请公布日期 1998.06.02
申请号 JP19960308805 申请日期 1996.11.20
申请人 FUJI ELECTRIC CO LTD 发明人 NAKAMURA HIDEYO;MATSUSHITA KOJI
分类号 G01L9/12;B81B3/00;G01L9/00;G01L19/00;G01L19/14;(IPC1-7):G01L19/00 主分类号 G01L9/12
代理机构 代理人
主权项
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