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发明名称 OBLIQUE VAPOR DEPOSITING METHOD
摘要
申请公布号 JPH10147858(A) 申请公布日期 1998.06.02
申请号 JP19960304636 申请日期 1996.11.15
申请人 TOYOTA CENTRAL RES & DEV LAB INC 发明人 MOTOHIRO TOMOMI
分类号 C23C14/22;(IPC1-7):C23C14/22 主分类号 C23C14/22
代理机构 代理人
主权项
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