| 发明名称 |
SEMICONDUCTOR SUBSTRATE AND ITS MANUFACTURE |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH10150176(A) |
申请公布日期 |
1998.06.02 |
| 申请号 |
JP19960305356 |
申请日期 |
1996.11.15 |
| 申请人 |
OMI TADAHIRO;CANON INC |
发明人 |
OMI TADAHIRO;TANAKA NOBUYOSHI;HIRAYAMA MASAKI;USHIKI TAKEO |
| 分类号 |
H01L29/40;H01L21/02;H01L27/12;(IPC1-7):H01L27/12 |
主分类号 |
H01L29/40 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
