| 发明名称 |
SOG COATER AND METHOD FOR FORMING SOG FILM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH10150028(A) |
申请公布日期 |
1998.06.02 |
| 申请号 |
JP19960304826 |
申请日期 |
1996.11.15 |
| 申请人 |
MITSUBISHI ELECTRIC CORP;RYODEN SEMICONDUCTOR SYST ENG KK |
发明人 |
MASUDA KAZUHIRO |
| 分类号 |
B05D1/18;B05C3/04;H01L21/31;H01L21/316;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/31 |
主分类号 |
B05D1/18 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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