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发明名称
SEMICONDUCTOR INSPECTION DEVICE
摘要
申请公布号
JPH10148657(A)
申请公布日期
1998.06.02
申请号
JP19960306690
申请日期
1996.11.18
申请人
SONY CORP
发明人
NAKASAKI TATSUJI;YOSHINAGA TOSHIHIRO
分类号
G01R31/26;(IPC1-7):G01R31/26
主分类号
G01R31/26
代理机构
代理人
主权项
地址
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