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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE MANUFACTURING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH10149996(A) 申请公布日期 1998.06.02
申请号 JP19960320885 申请日期 1996.11.15
申请人 KOKUSAI ELECTRIC CO LTD 发明人 FUJII JUN;FUKUDA SHIGEO
分类号 H01L21/205;H01L21/31;(IPC1-7):H01L21/205 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
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