发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND ITS MANUFACTURE
摘要
申请公布号 JPH10150127(A) 申请公布日期 1998.06.02
申请号 JP19960308093 申请日期 1996.11.19
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 YOKOI TETSUYA
分类号 H01L23/28;H01L21/56;H01L23/12;(IPC1-7):H01L23/28 主分类号 H01L23/28
代理机构 代理人
主权项
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