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发明名称 METHOD AND DEVICE FOR MANUFACTURING DIAMOND N-TYPE SEMICONDUCTOR FILM
摘要
申请公布号 JPH10149986(A) 申请公布日期 1998.06.02
申请号 JP19960310269 申请日期 1996.11.21
申请人 MITSUBISHI HEAVY IND LTD 发明人 NISHIMORI TOSHIHIKO
分类号 C30B29/04;H01L21/203;H01L21/205;(IPC1-7):H01L21/203 主分类号 C30B29/04
代理机构 代理人
主权项
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