| 发明名称 |
COMMUNICATION CONTROLLER FOR SEMICONDUCTOR MANUFACTURING EQUIPMENT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH10149968(A) |
申请公布日期 |
1998.06.02 |
| 申请号 |
JP19960320939 |
申请日期 |
1996.11.15 |
| 申请人 |
KOKUSAI ELECTRIC CO LTD |
发明人 |
KITAMOTO HIROYUKI;HORII SADAYOSHI |
| 分类号 |
H01L21/02;H04L29/06;(IPC1-7):H01L21/02 |
主分类号 |
H01L21/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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