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发明名称
SCANNING ELECTRON MICROSCOPE
摘要
申请公布号
JPH10149792(A)
申请公布日期
1998.06.02
申请号
JP19960307908
申请日期
1996.11.19
申请人
JEOL LTD
发明人
YOSHIHARA TAKAYASU
分类号
H01J37/153;H01J37/21;H01J37/28;(IPC1-7):H01J37/21
主分类号
H01J37/153
代理机构
代理人
主权项
地址
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