发明名称 CONVEYANCE DEVICE FOR SUBSTRATE FOR ELECTRONIC PART
摘要
申请公布号 JPH10148473(A) 申请公布日期 1998.06.02
申请号 JP19960321183 申请日期 1996.11.18
申请人 SHIMADA PHYS & CHEM IND CO LTD 发明人 SHIMADA KIYOSHI
分类号 B65G25/02;F27B9/24;F27B9/38;H05K13/02;(IPC1-7):F27B9/24 主分类号 B65G25/02
代理机构 代理人
主权项
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