发明名称 |
CONVEYANCE DEVICE FOR SUBSTRATE FOR ELECTRONIC PART |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH10148473(A) |
申请公布日期 |
1998.06.02 |
申请号 |
JP19960321183 |
申请日期 |
1996.11.18 |
申请人 |
SHIMADA PHYS & CHEM IND CO LTD |
发明人 |
SHIMADA KIYOSHI |
分类号 |
B65G25/02;F27B9/24;F27B9/38;H05K13/02;(IPC1-7):F27B9/24 |
主分类号 |
B65G25/02 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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