| 发明名称 |
SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT DEVICE CONTAINING CHEMICALLY RESISTANT GAS MICROSENSOR AND ITS MANUFACTURE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH10148624(A) |
申请公布日期 |
1998.06.02 |
| 申请号 |
JP19970204367 |
申请日期 |
1997.07.30 |
| 申请人 |
SGS THOMSON MICROELETTRONICA SPA |
发明人 |
VILLA FLAVIO;FERRARI PAOLO;VIGNA BENEDETTO |
| 分类号 |
B81B1/00;B81C1/00;G01N27/12;H01L21/764;(IPC1-7):G01N27/12 |
主分类号 |
B81B1/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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